熱式氣體流量計(jì)的測(cè)量探頭有兩個(gè)傳感器：一個(gè)是溫度傳感器，一個(gè)是速度傳感器，兩個(gè)傳感器都是基準(zhǔn)級(jí)鉑電阻傳感器。鉑電阻固定在密封、堅(jiān)固的不銹鋼套管中，在測(cè)量電路中它們也作為測(cè)量橋路的兩個(gè)臂，溫度傳感器在工作中測(cè)量被測(cè)氣體的溫度，它作為參比溫度，而速度傳感器被加熱，并使其被加熱的溫度和參比溫度有一固定的溫差，當(dāng)參比溫度變化，則溫差也隨著變化，可以通過(guò)加熱功率的變化來(lái)測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。

　　熱式氣體流量計(jì)具有如下技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

　　傳感器無(wú)活動(dòng)部件和壓感部件，不受震動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響，使用壽命長(zhǎng)，抗震性能好；

　　安裝維護(hù)簡(jiǎn)便。在現(xiàn)場(chǎng)條件允許的情況下，可實(shí)現(xiàn)不停產(chǎn)安裝和維護(hù)；

　　數(shù)字化設(shè)計(jì)。整機(jī)數(shù)字化電路測(cè)量，維護(hù)方便、測(cè)量準(zhǔn)確；

　　真正的質(zhì)量流量計(jì)，對(duì)氣體流量測(cè)量無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償，可得氣體的標(biāo)準(zhǔn)體積流量或質(zhì)量流量，且測(cè)量準(zhǔn)確、方便；

　　較大的量程比?？蓽y(cè)量流速低到0.5nm/s和高到100nm/s的氣體，可用于氣體檢漏。